
SK4831A(3C-2A)全自动在线检测影像仪
该机具有超大范围,高性能检测功能
具有三轴数控、点哪走哪、图影同步、实时校验、误差修正、工件随意放置、自动走位操作等基础性能。
良好的人机界面将烦琐的操作过程有机集成,摆脱手摇时代的机械局限;实时非线性误差修正使其突破了传统设备中存在的精度与速度极限;便捷的自动走位操作,由仪器自动走向每一个目标点进行测量操作,同时它具有良好的高速性能,基于独有的高速位移传感技术,其±3um测量精度下的速度可达500mm/min,位移驱动为0.1um,位移解析度为0.5um,重合精度达±2um,线性精度±(2.5+L/200)um,比手摇式测量设备高效数十倍。
技术参数:
重合精度:±2μm
线性精度:±(3+L/100) μm
精度验证:200mm-1mm-1μm光学尺校正(现场实测)